Fakultät für Physik
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A: Physik und Anwendungen von weicher Röntgenstrahlung (Physics and applications of soft X-raysI) – Übersicht

Teil II

Dozent

Informationen zur Vorlesung

Zeit und Ort

Mittwoch, 9:00 - 11:00 Uhr, Seminarraum B 0.22,
Max-Planck-Institut für Quantenoptik, Garching
Übungen (2 SWS): n. V.
nächste Vorlesung: 16.05.2007

Kommentar:

Einführung in das elektromagnetische Spektrum, Streuprozess von weicher Röntgenstrahlung, Wellengleichung, optische Konstanten, Grenzflächen, Optiken für weiche Röntgenstrahlung: Multilayercoatings, diffraktive Optiken, Quellen weicher Röntgenstrahlung: Synchrotronstrahlung, heiße dichte Plasmen, Röntgenlaser, Hohe Harmonische Detektoren für weiche Röntgenstrahlung, Kohärenz bei kurzen Wellenlängen

Anwendungen: Röntgenmikroskopie, Röntgenlithographie, EUV Lithographie

Veranstaltungstyp und Studiengang: Diplom, SII, BS, vertiefendes Wahlfach
Vorlesung mit Übungen für Studierende nach den Vorprüfungen

Literatur: Eberhard Spiller : Soft X-ray Optics / (SPIE Optical Engineering Press, Bellingham, Washington, ISBN 0-8184-1654-1)
A. Michette: X-ray Optics
D.T. Attwood; Soft X-ray and Extreme Ultraviolet Radiation (Cambridge Univ. Press, ISBN 0 521 65214 6)
S. Büttgenbach: Mikromechanik
Sowie aktuelle Wissenschaftspublikationen

Voraussetzungen: Festkörper- und Oberflächenphysik

Begleitendes Seminar: Studentische Vorträge zu aktuellen Forschungsarbeiten (z.B. Röntgenmikroskopie, EUV Lithographie, Röntgenlaser, PEEM) Ort und Zeit: n.V.

Verantwortlich für den Inhalt: Prof. Kleineberg